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全自動氦質(zhì)譜檢漏儀

產(chǎn)品時間:2024-05-29

訪問次數(shù):7442

簡要描述:

全自動氦質(zhì)譜檢漏儀
型號:JL-300
一、產(chǎn)品介紹
設備內(nèi)芯采用*技術(shù),具有靈敏度高,反應快,開機時間短等特點JL-300型是一款分體式檢漏儀。
檢漏儀主要的目的是檢查一個真空腔體各個密封處是否有泄漏、漏氣的地方。
在這個密封腔體內(nèi)充滿氦氣,用質(zhì)譜檢漏儀在不腔體外,不同部位檢測,如果密封存在問題,則有氦氣泄漏,被質(zhì)譜儀檢測到。

全自動氦質(zhì)譜檢漏儀

JL-142W(D)型是一款液晶觸摸

彩屏顯示的全自動氦質(zhì)譜檢漏儀。主

要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設備內(nèi)

芯的制造借鑒*技術(shù),整機設

置合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高,

反應快,開機時間短等特點。檢漏效

果達到*水平。

主要技術(shù)指標

1、真空模式小可檢漏率:5×10 -13Pam3 /s5×10 -12mbal/s

真空模式漏率顯示范圍:1×10 -11×10 -13Pam3 /s

2吸槍模式小可檢漏率:5×10 -9Pam3 /s5×10 -8mbal/s

吸槍模式漏率顯示范圍:1×10 -11×10 -10Pam3 /s

3、啟動時間:≤3min

4、響應時間:≤0.5s

5、檢漏口的壓力:1500Pa

6、電源要求:220v50Hz,單相,10A

7、工作環(huán)境:5-35

9、相對濕度:≤80%

9、外形尺寸:500W)×400D)×380H

10、重量:W 42kgD 22kg

主要配置

1、德國普發(fā)檢漏儀分子泵(*)

2、W 為油式機械泵,D 為干式機械泵

3、定制檢漏儀電磁閥

4、閥體

5、原裝晶圓放大器

6、采用質(zhì)譜模塊

7、液晶觸摸彩屏

8、雙燈絲(氧化釔金絲),自動調(diào)氦峰,自動切換

 

 

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